多功能高真空热蒸发镀膜机

仪器名称： 多功能高真空热蒸发镀膜机

型号：JSD400-Z

主要配置：系统包括真空腔体主机、制冷水循环和总电气控制箱；采用机械泵和分子泵联合的真空系统，腔体的真空度可以达到10^-5 Pa的高真空条件； 设有3个镀膜区，每个镀膜区可蒸镀4层薄膜；各个镀膜区由独立电源控制，可同时蒸镀有机和无机薄膜。

应用范围：应用于蒸镀金属、氧化物等无机薄膜，小分子和大分子有机薄膜。

存放地点：陈瑞琪科学馆406房