学术方向： 电子信息，检测技术，光学工程
科研能力： 长期从事集成电路制造工艺、电子束技术、半导体装备等研究工作。2006～2013年在英国工作期间成功研制了国际首台并行纳米光刻系统。2013引进到中科院电工所，任研究员；2020年按高层次人才入职广东半导体所，任半导体仪器装备及热表征技术学科带头人。迄今主持国家重点研发计划之重大科学仪器设备开发、中科院科研装备研制、广东省重点研发计划、国防科技领域基金等多项项目/课题，在Nano letters等刊物和会议上发表论文30余篇，申请发明专利20余项。
科研项目： 1. 激光湿度检测自适应算法及复杂工况下的测量、控制方法.国家重点研发计划,重大科学仪器设备开发专项（2017-2019） 2. 高精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制.广东省科技厅，重点研发计划(2020-2023)。
科研成果（近五年）： 1. N-type vapor diffusion for the fabrication of GaSb thermophotovoltaic cells to increase the quantum efficiency in the long wavelength range.Solar Energy Materials and Solar Cells,2019 2. Suppression of the surface “dead region” for fabrication of GaInAsSb thermophotovoltaic cells.olar Energy Materials and Solar Cells,2017 3. A novel thermophotovoltaic optical cavity for improved irradiance uniformity and system performance.energy,2020。
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